比较模型
规格 |
Phenom Pharos. |
Phenom XL / PIFticlex / GSR * |
Phenom Pro / Prox |
Phenom Pure. |
电子来源 | 场发射枪(FEG) | CEB.6.水晶 | CEB.6.水晶 | CEB.6.水晶 |
最大限度。SEM倍率 | 2,000,000x. | 2000千倍 | 350,000x. | 175,000x. |
SEM分辨率 - SED | <2.0 nm. | 10 nm. | 6纳米 | 15纳米 |
SEM分辨率 - BSD | 3纳米 | 10 nm. | 8纳米 | 15纳米 |
加速电压 | 1 - 20 kV | 5 - 20 kV | 5 - 20 kV | 5 kV或10 kV |
导航相机 | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ |
机动舞台 | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ |
真空选项 | 高,培养基和低真空(可选择软件) | 高,培养基和低真空(可选择软件) | 高真空样品架 | 高真空样品架 |
样品处理 | 单引脚Stub. 直径25毫米 |
最多36个引脚存根 100 mm x 100 mm |
单引脚Stub. 直径25毫米 |
单引脚Stub. 直径25毫米 |
探测器 | BSD - 四象限后散射电子检测器(标准) SED - Everhart-Thornley二次电子探测器(可选) EDS / EDX / EDAX - 集成能量分散X射线光谱仪(可选) |
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