电子源是SEM最重要的组成部分之一，是其最大性能的主要决定因素。扫描电子显微镜中有三种常见的电子源。
钨丝
钨发夹是第一代电子显微镜的原始来源。它仍然是今天使用的最常见的资源，特别是在低成本的中小企业中。钨源相对便宜，并被设计为在常规使用扫描电镜时可以快速和容易地更换。
虽然它们是最低的成本选项，但与其他电子源相比，钨发射器还提供最小性能。钨发夹的理论分辨率比实验室更差6由于发夹的发射面积明显更大，晶体或feg。钨源对于新手用户来说也很难使用。它们必须在白热温度下工作，大约2800K，但在样品交换过程中暴露在环境条件下。这种热循环会导致两个问题:它会造成光束晕染的持续漂移，必须由用户手动修正。并导致钨源在运行过程中突然烧坏，需要用户关闭系统，更换钨源，重新对新钨源，然后重新开始之前的分析。
实验室6/ CeB6水晶
这些来源利用高度抛光的六硼化镧或六硼化铈晶体。这种晶体产生的电子比钨丝多10倍。这些晶体源明显比钨丝更稳定，并且始终保持温暖和在真空中，所以它们需要更少的调谐和持续更长的时间。晶体源只需要每隔几个月进行柱头调整，而不是钨基和feg基sem常见的连续聚焦-柱头-聚焦调整。
虽然这两种材料提供了相似的结果，但较新的CeB6近年来，由于它们具有更好的抗污性和更长的使用寿命，来源变得越来越普遍。由于所有这些特性，系统由CeB提供动力6源代码对于非专业用户来说是最容易使用的。
场发射枪
场发射枪(FEG)是可用的最强大的源，而场发射sem (fe - sem)是在实验室中发现的，需要尽可能高的性能和最好的分辨率。
场发射枪提供卓越的分辨率，以看到更小的特征，更高的亮度，以获得更清晰的图像与更高的对比度，和更好的性能在低加速电压，以减少成像伪影。
这种高性能是有代价的。fe - sem通常是最昂贵的仪器，无论是初始购买还是维护/保养成本。这是由于FEG本身的高成本，以及源需要在超高真空条件下运行所导致的成本增加。
大多数场致发射系统都是全尺寸的电致发射系统，但也有一些由FEG源驱动的自动化电致发射系统，甚至还有一个台式的fe -电致发射系统杰出人才灯塔．
近似源规范
| Specs //源类型 | 钨发夹 | 实验室6/ CeB6水晶 | 肖特基场发射枪 |
|---|---|---|---|
| 亮度(A /厘米2sr) | 106 | 107 | 5 x 10.8 |
| 30千伏分辨率 | 3纳米 | 2海里 | 1海里 |
| 分辨率@ 1kv | 50纳米 | 25海里 | 5海里 |
| 能量分散 | 3电动汽车 | 1 ev. | 0.3电动汽车 |
| 真空（MBAR） | 10-1- 10.-5 | 10-7 | 10-9 |
| 工作温度(K) | 2800年 | 1,800 | 1,800 |
| 寿命(小时) | 100. | 1，500 | 10,000（总是开） |
| 每个来源的费用 | ＄100 | 3,000美元 | 15000美元 |
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